膜厚分布計測検査装置

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3D-Eyeスキャナー2D-Eye

3D-Eyeスキャナー

膜厚分布計測検査装置

液晶パネルや半導体製造における、性能・品質に大きな影響を及ぼす膜塗布の工程では、均一性が重要視されます。3D-Eyeスキャナーは高速スキャニングにより、塗布後すぐに表面状態を検査できます。

液晶パネルや半導体製造における、性能・品質に大きな影響を及ぼす膜塗布の工程では、均一性が重要視されます。
従来機では一括計測が難しく、任意の1点を計測する方法でした。
3D-Eyeスキャナーでは、光切断法により指定した全領域を高速かつ高精度に計測できます。

計測・検査項目

塗布量、膜厚分布の計測および統計計算を行います。
3Dレンダリング画像により塗布状態を容易に観察できます。また、プロファイリングにより厚みを正確に計測でき、基準面指定により、任意領域の正確な体積計測が可能です。

主な機能

・統計情報/ログ記録
・自動アライメント
・基準面(厚さ)指定

検査対象別ページ(カスタム代表例)

※カスタマイズには、対象ワークの事前確認が必要となりますので、詳しくはお問い合わせください。

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