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精密機器業界

透明電極膜パターン測定検査

透明電極膜パターン測定検査
  • 高速ラインスキャンにより指定面領域の高速検査が可能に。
  • 又は、エリアカメラにより指定場所をオンラインにて検査。
  • 透明電極膜の有無、異物、パターン寸法検査を高精度に計測・検査。
  • 高精度変位センサによるオートフォーカス機能。
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