正確な「表面粗さ」データを得るために、レーザスキャンにより取得した断面曲線にフィルタ(カットオフ値λc)をかけて「うねり成分」を取り除きます。
うねり成分を取り除いた曲線を「粗さ曲線」と言い、粗さ曲線から表面粗さを計測します。

レーザによる線光源が検査ワークを切断する形状を高さ形状として取り込み、その後、ワークを一定量移動させ、ワークの全形状を取り込みます。ライン状レーザで一括スキャンを行うため、範囲指定により全域の表面粗さを高速計測できます。