基本機能
| 観察機能 | ２D濃淡画像観察、３D高さ画像観察、３Dレンダリング画像観察（×１～×５） |
|---|---|
| 2D計測機能 | 距離計測、面積計測 |
| 3D計測機能 | プロファイリング ： 最大高さ計測、平均高さ計測、一点高さ計測、段差計測、段差角度計測 |
| 体積計測、3D基準面指定 | |
| フィルタ・マスク機能 | メディアンフィルタ ： 3×3、5×5 |
| マスク ： 円形、四角形 |
基本仕様
| 1軸仕様 | 2軸仕様 | ||
|---|---|---|---|
| 標準タイプ | ワイドタイプ | ||
| 測定範囲（X×Y） | 75mm×15mm | 75mm×60mm | 125mm×105mm |
| 測定視野（スキャン幅） | 15mm | ||
| Z 軸測定可能段差 | 1mm※ | ||
| Z軸ストローク（フォーカス） | 50mm | ||
| 測定分解能 | X軸：10μm Y軸：10μm Z軸：0.89μm | ||
| 最大駆動速度 | 100mm／sec | ||
| P C ・モニター | OS：Windows 7 Professional、 グラフィックボード Direct X 対応 | ||
| 寸法 （W×D×H、Z軸最下端時・ケーブル除く） |
320×250×375mm | 320×255×405mm | 400×350×425mm |
設置例
検査対象別ページ（カスタム代表例）
